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Product Center當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室氣體配比器氣體液體配比器流量計(jì)液體氣體混合配比器
液體氣體混合配比器 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量;質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。 它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括; 電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等
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產(chǎn)品分類(lèi)品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫(xiě)為MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量;質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。
它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括; 電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
概覽
液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行 精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 集成電路工 藝設(shè)備,如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及 其它分析儀器。
CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品,為氣體質(zhì)量流量的控制、 測(cè)量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào),0~5V 模擬信號(hào),4~20mA 或 0~20mA 模擬信號(hào),可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動(dòng)故障報(bào)警,多氣體多量程等功能。標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)放的通訊協(xié)議為客戶(hù)自行開(kāi)發(fā)控制、采集軟件 提供便利。提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶(hù)端上位機(jī)軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的要求。
CS200-A,C,D MFC 默認(rèn)配置為:
MAC 地址:32;
RS485 通信波特率:19200;
控制方式:0~5V 電壓控制。
更多細(xì)節(jié)請(qǐng)參考產(chǎn)品附帶光盤(pán)中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議"。
標(biāo)定
CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶(hù)的要求來(lái)標(biāo)定。如果用戶(hù)沒(méi)有說(shuō)明工作情況等信息,
則按照標(biāo)準(zhǔn)狀況標(biāo)定。
1、標(biāo)準(zhǔn)狀況
出口壓力:大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來(lái)表示,質(zhì)量流量單位為:
SCCM:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
SLM:標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):溫度 0°C (273.15K)
氣壓:101325Pa (760mm Hg)
在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下,氣體的密度是一個(gè)常數(shù),該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù),所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標(biāo)準(zhǔn)安裝位置為水平安裝,同時(shí)為客戶(hù)提供垂直(進(jìn)氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝,為保證的測(cè)量精度,用戶(hù)購(gòu)買(mǎi)時(shí)應(yīng)該說(shuō)明設(shè)備的安裝方式。
2、制造環(huán)境
CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級(jí)的凈化間內(nèi)組裝,1000 級(jí)凈化環(huán)境下標(biāo)定及包裝。
3、精度調(diào)節(jié)
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應(yīng)的標(biāo)定臺(tái)上烤機(jī) 24 小時(shí),然后進(jìn)行精確標(biāo)定。精度、動(dòng)態(tài)響應(yīng)、壓力變化的穩(wěn)定性等指標(biāo)須經(jīng)過(guò)兩次檢查,合格后方可出廠